凝結(jié)水泵入口的壓力還是很低凝結(jié)水泵

凝結(jié)水泵廠家1）凝結(jié)泵空氣門  如果運(yùn)行備用的兩臺凝結(jié)泵空氣門最終是共用一根空氣管接到凝汽器去的，如果備用泵漏空氣，可能會(huì)影響到運(yùn)行泵的正常運(yùn)行。（共用一根空氣管，運(yùn)行泵的空氣可能不會(huì)被抽走，泵體聚集空氣，致泵運(yùn)行異常）  

2）凝結(jié)泵容易汽化汽蝕的原因  a、凝結(jié)水溫度（可以忽略過冷卻度）是凝汽器排汽壓力下的飽和溫度，即使加上熱井水位產(chǎn)生的靜壓力（這就是為什么凝結(jié)泵要裝在較低位置的原因），凝結(jié)水泵入口的壓力還是很低，如果水泵流量小，水在泵體中會(huì)被加熱，而達(dá)到凝結(jié)水的汽化溫度，使泵產(chǎn)生汽蝕。  b、凝結(jié)水系統(tǒng)是負(fù)壓的，凝結(jié)水泵的法蘭、等處容易漏入空氣，如果空氣門沒開或漏入的空氣量太大，會(huì)使水泵積存空氣而不能正常工作。  

3）凝結(jié)泵裝在泵坑的原因  凝結(jié)水溫度（可以忽略過冷卻度）是凝汽器排汽壓力下的飽和溫度，即使加上熱井水位產(chǎn)生的靜壓力，凝結(jié)水泵入口的壓力還是很低，如果水泵流量小，水在泵體中會(huì)被加熱，而達(dá)到凝結(jié)水的汽化溫度，使泵產(chǎn)生汽蝕。

凝結(jié)水泵由于低溫冷凝泵具有無油,對所有氣體的抽速都較大,特別是對水蒸汽、H2等抽速很大,適應(yīng)性強(qiáng),制冷機(jī)低速運(yùn)行,且運(yùn)動(dòng)部件很少,有利于長期可靠運(yùn)行等優(yōu)點(diǎn),因而,被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器件、材料科學(xué)、表面分析儀器等領(lǐng)域,以此來獲得清潔的高真空或超高真空。

現(xiàn)以CTITorr28冷凝泵為例,簡要闡述冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造特點(diǎn)、工作原理以及維護(hù)保養(yǎng)方面的要點(diǎn)。目前,冷凝泵中所使用的冷凍機(jī)有以下三種形式。

①G2M循環(huán)冷凍機(jī):最早被用于冷凝泵中的小型極低溫冷凍機(jī),它是根據(jù)Gifford和Mcmahon而發(fā)明研制,具有很高可靠性、極低溫度的冷凍機(jī)。如今也使用的很廣泛。

②ModifiedSolvay循環(huán)冷凍機(jī):嚴(yán)格地說,在熱力學(xué)上與G2M循環(huán)不一樣,但在實(shí)際上也可以看作是用在氣壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的G2M循環(huán)冷凍機(jī)。

③Sterling循環(huán)冷凍機(jī):是容壓縮和膨脹為一體的冷凍機(jī),在冷凝泵中一般作為大型機(jī)種來使用,但目前基本上不使用。